Dung dịch Lọc quá trình quang học

Quá trình in ảnh đề cập đến công nghệ chuyển các mẫu trên tấm mặt nạ sang bề mặt dưới tác động của ánh sáng (thường là ánh sáng cực tím, ánh sáng cực tím sâu, ánh sáng cực tím) với sự trợ giúp của photoresist. Quá trình in ảnh là một trong những bước quan trọng nhất trong sản xuất bán dẫn. Chi phí của nó chiếm khoảng 1/3 toàn bộ quy trình sản xuất Wafer silicon, và thời gian tiêu thụ chiếm khoảng 40-60% toàn bộ quy trình Wafer silicon. Trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, vì độ rộng của quá trình xử lý chất bán dẫn trở nên nhỏ hơn và nhỏ hơn, việc kiểm soát các chất gây ô nhiễm cực kỳ nhỏ trong quá trình chụp ảnh cực kỳ nghiêm ngặt. Nó không chỉ kiểm soát chặt chẽ các hạt, mà còn có yêu cầu nghiêm ngặt đối với khí thải thấp. Sản phẩm của công ty chúng tôi sử dụng thiết bị và quy trình tiên tiến để sản xuất các sản phẩm có hiệu quả lọc tuyệt vời, sạch sẽ và chống hóa chất để đáp ứng các ứng dụng quy trình bán quang học khác nhau.

Semiconductor chips and lithography machines
Quá trình in thạch
Schematic diagram of lithography process flow
Điểm lọc và các sản phẩm được đề xuất
Máy Trạm Chức năng Dòng Hộp mực lọc được đề xuất Dòng vỏ Bộ lọc được đề xuất
Lọc quang Lọc hạt Vật Chất Trong photoresist
  • Lõi lọc ni lông xếp li
  • Vỏ Bộ lọc chất lỏng