Soluzione di filtrazione del processo di fotolitografia

Il processo di fotolitografia si riferisce alla tecnologia di trasferimento dei modelli sulla piastra della maschera al substrato sotto l'azione della luce (solitamente luce ultravioletta, luce ultravioletta profonda, luce ultravioletta estrema) con l'aiuto del fotoresimo. Il processo di fotolitografia è uno dei passaggi più importanti nella produzione di semiconduttori. Il suo costo rappresenta circa 1/3 dell'intero processo di produzione di wafer di silicio e il tempo consumato rappresenta circa 40-60% dell'intero processo di wafer di silicio. Nel campo della produzione di semiconduttori, poiché la larghezza di linea dell'elaborazione dei semiconduttori diventa sempre più piccola, il controllo di contaminanti estremamente piccoli nel processo di fotolitografia è estremamente rigoroso. Non solo controlla rigorosamente le particelle, ma ha anche requisiti rigorosi per il degassamento basso. I prodotti della nostra azienda utilizzano attrezzature e processi avanzati per produrre prodotti con un'eccellente efficienza di filtrazione, pulizia e resistenza chimica per soddisfare le diverse applicazioni del processo di fotolitografia SEMI.