Solution de filtration de processus de photolithographie

Processus de photolithographie se réfère à la technologie de transfert des motifs sur la plaque de masque sur le substrat sous l'action de la lumière (généralement la lumière ultraviolette, la lumière ultraviolette profonde, la lumière ultraviolette extrême) à l'aide de photorésist. Le processus de photolithographie est l'une des étapes les plus importantes de la fabrication de semi-conducteurs. Son coût représente environ 1/3 de l'ensemble du processus de fabrication de plaquettes de silicium, et le temps consommé représente environ 40-60% de l'ensemble du processus de plaquettes de silicium. Dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs, à mesure que la largeur de raie du traitement des semi-conducteurs devient de plus en plus petite, le contrôle des contaminants extrêmement petits dans le processus de photolithographie est extrêmement strict. Il contrôle non seulement strictement les particules, mais a également des exigences strictes pour un faible dégazage. Les produits de notre société emploient l'équipement et les processus avancés pour produire des produits avec l'excellente efficacité de filtration, la propreté, et la résistance chimique pour rencontrer différentes applications de processus de SEMI photolithographie.