Фотолитография Процесс Фильтрация Решение

Процесс фотолитографии относится к технологии передачи узоров на пластине маски на подложку под действием света (обычно ультрафиолетового света, глубокого ультрафиолетового света, экстремального ультрафиолетового света) с помощью фоторезиста. Процесс фотолитографии является одним из наиболее важных этапов в производстве полупроводников. Его стоимость составляет около 1/3 всего процесса производства кремниевой пластины, а время, затраченное на это, составляет около 40-60% всего процесса изготовления кремниевой пластины. В области полупроводникового производства, поскольку ширина линии полупроводниковой обработки становится все меньше и меньше, контроль чрезвычайно малых загрязнений в процессе фотолитографии чрезвычайно строг. Он не только строго контролирует частицы, но также имеет строгие требования для низкого дегазации. В продуктах нашей компании используется современное оборудование и процессы для производства продуктов с отличной эффективностью фильтрации, чистотой и химической стойкостью для удовлетворения различных применений процесса фотолитографии SEMI.