تشير عملية الليثوغرافيا الضوئية إلى تقنية نقل الأنماط الموجودة على لوحة القناع إلى الركيزة تحت تأثير الضوء (عادة الضوء فوق البنفسجي ، الضوء فوق البنفسجي العميق ، الضوء فوق البنفسجي الشديد) بمساعدة مقاوم للضوء. تعد عملية الليثوغرافيا الضوئية واحدة من أهم الخطوات في تصنيع أشباه الموصلات. تمثل تكلفتها حوالي 1/3 من عملية تصنيع رقاقة السيليكون بالكامل ، وحسابات الوقت المستهلكة لحوالي 40-60% من عملية رقاقة السيليكون بأكملها. في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، حيث يصبح عرض خط معالجة أشباه الموصلات أصغر وأصغر ، فإن التحكم في الملوثات الصغيرة للغاية في عملية الليثوغرافيا الضوئية صارم للغاية. إنه لا يتحكم بدقة في الجسيمات فحسب ، بل إنه يحتوي أيضًا على متطلبات صارمة لإخراج الغازات المنخفضة. تستخدم منتجات الشركة معدات وعمليات متطورة لإنتاج منتجات ذات كفاءة ترشيح ونظافة ومقاومة كيميائية ممتازة لتلبية مختلف تطبيقات معالجة الليثوغرافيا الضوئية.


| محطة عمل | وظيفة | سلسلة خرطوشة فلتر موصى بها | سلسلة الإسكان مرشح الموصى بها |
|---|---|---|---|
| ترشيح مقاوم للضوء | مرشح الجسيمات المسألة في مقاومة للضوء |
|
|