تشير عملية الليثوغرافيا الضوئية إلى تقنية نقل الأنماط الموجودة على لوحة القناع إلى الركيزة تحت تأثير الضوء (عادة الضوء فوق البنفسجي ، الضوء فوق البنفسجي العميق ، الضوء فوق البنفسجي الشديد) بمساعدة مقاوم للضوء. تعد عملية الليثوغرافيا الضوئية واحدة من أهم الخطوات في تصنيع أشباه الموصلات. تمثل تكلفتها حوالي 1/3 من عملية تصنيع رقاقة السيليكون بالكامل ، وحسابات الوقت المستهلكة لحوالي 40-60% من عملية رقاقة السيليكون بأكملها. في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، حيث يصبح عرض خط معالجة أشباه الموصلات أصغر وأصغر ، فإن التحكم في الملوثات الصغيرة للغاية في عملية الليثوغرافيا الضوئية صارم للغاية. إنه لا يتحكم بدقة في الجسيمات فحسب ، بل إنه يحتوي أيضًا على متطلبات صارمة لإخراج الغازات المنخفضة. تستخدم منتجات الشركة معدات وعمليات متطورة لإنتاج منتجات ذات كفاءة ترشيح ونظافة ومقاومة كيميائية ممتازة لتلبية مختلف تطبيقات معالجة الليثوغرافيا الضوئية.
محطة عمل | وظيفة | سلسلة خرطوشة فلتر موصى بها | سلسلة الإسكان مرشح الموصى بها |
---|---|---|---|
ترشيح مقاوم للضوء | مرشح الجسيمات المسألة في مقاومة للضوء |
|
|