Fotolitografia Processo Filtração Solução

O processo de fotolitografia refere-se à tecnologia de transferência dos padrões na placa da máscara para o substrato sob a ação da luz (geralmente luz ultravioleta, luz ultravioleta profunda, luz ultravioleta extrema) com a ajuda da fotorresistência. O processo da fotolitografia é uma das etapas as mais importantes na fabricação do semicondutor. Seu custo esclarece aproximadamente 1/3 do processo de fabricação inteiro da bolacha do silicone, e o tempo consumido esclarece aproximadamente 40-60% do processo inteiro da bolacha do silicone. No campo da fabricação de semicondutores, à medida que a linhalargura do processamento de semicondutores se torna cada vez menor, o controle de contaminantes extremamente pequenos no processo de fotolitografia é extremamente rigoroso. Não só controla estritamente as partículas, mas também tem requisitos rigorosos para baixa desgaseificação. Os produtos da nossa empresa usam equipamentos e processos avançados para produzir produtos com excelente eficiência de filtração, limpeza e resistência química para atender diferentes aplicações do processo de fotolitografia SEMI.