Photolithography Process Filtration Solution

Ang proseso ng Photolithography ay tumutukoy sa teknolohiya ng paglipat ng mga pattern sa plate ng mask sa substrate sa ilalim ng aksyon ng liwanag ultraviolet light, Malalim na ultraviolet light, matinding ultraviolet light) sa tulong ng photoresist. Ang proseso ng Photolithography ay isa sa pinakamahalagang hakbang sa paggawa ng semiconductor. Ang gastos nito ay kumuha ng halos 1/3 ng buong proseso ng paggawa ng silicon wafer, at ang oras na kumukuha ng account para sa halos 40-60% ng buong proseso ng silicon wafer. Sa patlang ng paggawa ng semiconductor, habang ang linewidth ng pagproseso ng semiconductor ay nagiging mas maliit at mas maliit, ang kontrol ng napakaliit na mga kontaminant sa proseso ng photolithography ay lubos na mahigpit. Hindi lamang ito nagkontrol ng mahigpit na mga particle, ngunit may mahigpit na pangangailangan para sa mababang outgassing. Ang mga produkto ng aming kumpanya ay gumagamit ng mga advanced na kagamitan at proseso upang gumawa ng mga produkto na may mahusay na epektibo ng filtrasyon, malinis, at paglaban ng kemikal upang matugunan ang iba't ibang mga aplikasyon ng photolithography ng SEMI.

Semiconductor chips and lithography machines
Lithography Process
Schematic diagram of lithography process flow
Filter Points and Recomrended Products
Trabaho Functions Rerekended Filter Cartridge Series Rerekended Filter Housing Series
Filasyon ng photoresista Filter partikulate matter sa photoresista
  • Nylon pleated filter cartridge
  • Liquid filter bahays