Dung dịch Lọc quá trình ướt bán dẫn

Một trong những thách thức lớn nhất trong ngành sản xuất bán dẫn là ô nhiễm bề mặt của tấm silicon. Nghiên cứu đã chỉ ra rằng các khiếm khuyết gây ra bởi ô nhiễm có thể dẫn đến lỗi điện trong chip, với tỷ lệ thất bại cao tới 80%. Nếu chất gây ô nhiễm không được loại bỏ hoàn toàn trong quá trình sản xuất Wafer, nó có thể ảnh hưởng đến năng suất của tấm Wafer hoặc thậm Chí dẫn đến việc loại bỏ toàn bộ lô. Do đó, quy trình làm sạch bán dẫn là một trong những bước quan trọng nhất trong sản xuất bán dẫn. Quá trình ướt, như một phần quan trọng của quá trình bán dẫn, bao gồm khắc và làm sạch bề mặt Wafer bằng hóa chất (axit, bazơ, dung môi, v. v.) và nước siêu tinh khiết làm môi trường lỏng.