Yarı iletken ıslak proses filtrasyon çözümleri

Yarı iletken üretim endüstrisindeki en büyük zorluklardan biri silikon gofretlerin yüzey kontaminasyonudur. Araştırma, kirlenmenin neden olduğu kusurların, 80% kadar yüksek bir arıza oranıyla çiplerdeki elektrik arızalarına yol açabileceğini göstermiştir. Kirletici maddeler gofret üretimi sırasında tamamen çıkarılmazsa, gofretlerin verimini etkileyebilir veya hatta tüm partilerin hurdasına neden olabilir. Bu nedenle, yarı iletken temizleme işlemleri yarı iletken üretimindeki en kritik adımlardan biridir. Yarı iletken süreçlerin önemli bir parçası olarak ıslak işlemler, gofret yüzeyini kimyasal maddeler (asitler, bazlar, çözücüler vb.) ve sıvı ortam olarak ultra saf su kullanarak aşındırma ve temizleme içerir.

Wafer in ultra-pure water
Tipik temizlik tankı süreci (örnek olarak sc1 alarak)

Firmamızın filtre ürünleri mükemmel filtrasyon çözümleri sağlayabilir. Sc1, sc2, 49hf, hno gibi yarı iletken ıslak proses uygulamalarında sıvı filtration syonu için özel olarak tasarlanmış filtre ürünlerimiz var.3, Ekc, nmp, vb. Bu filtre ürünleri yarı iletken endüstrisinde kullanılan yüksek saflıkta kimyasallarda partikülleri etkili bir şekilde kaldırabilir ve yarı iletken proses gofretlerinin verimini sağlayabilir.

Schematic diagram of cleaning tank process
Filtre noktaları ve önerilen ürünler
Iş istasyonu Fonksiyon Önerilen filtre kartuşu serisi Önerilen filtre konut serisi
Yarı iletken ıslak işlem filtration syonu Sc1 çözücüden filtre parçacıkları
  • Ptfe pileli filtre kartuşu
  • Ptfe kapsül filtre kartuşu
  • Pes pileli filtre kartuşu
  • Pes kapsül filtre kartuşu
  • Inline boru hattı filtre muhafazası
  • Sıvı filtre muhafazası