Semiconductor Wet Process Filtration Solutions

Isa sa mga pinakamalaking hamon sa industriya ng paggawa ng semiconductor ay kontaminasyon sa ibabaw ng silicon wafers. Ipinakita ng pananaliksik na ang mga defects na sanhi ng kontaminasyon ay maaaring humantong sa mga pagkabigo ng kuryente sa mga chips, na may kabiguan na rate hanggang 80%. Kung ang mga contaminant ay hindi ganap na tinanggal sa panahon ng paggawa ng wafer, maaari itong makaapekto sa ani ng mga wafers o kahit na magresulta sa pag-scrapping ng buong batches. Samakatuwid, ang mga proseso ng paglilinis ng semiconductor ay isa sa mga pinaka kritikal na hakbang sa paggawa ng semiconductor. Mga proseso ng wet, bilang isang mahalagang bahagi ng mga proseso ng semiconductor, Kasama sa pag-ets at paglilinis ng wafer sa ibabaw gamit ang mga kemikal (acid, base, solvents, atbp.) at ultra-pure water bilang likidong medium.

Wafer in ultra-pure water
Karaniwang Proseso sa Paglilinis ng Tank (Taking SC1 bilang halimbawa)

Ang mga produkto ng filter ng aming kumpanya ay maaaring magbigay ng mahusay na solusyon sa filtrasyon. Mayroon kaming mga produkto ng filter na partikular na disenyo para sa likidong filtrasyon sa mga programa ng wet na semiconductor tulad ng SC1, SC2, 49HF, HNO3, EKC, NMP, atbp. Ang mga produktong filter na ito ay maaaring mag-alis ng mga particle sa mga kemikal na may mataas na kalinisan na ginagamit sa industriya ng semiconductor, pagtiyak ng ani ng mga semiconductor process wafers.

Schematic diagram of cleaning tank process
Filter Points and Recomrended Products
Trabaho Functions Rerekended Filter Cartridge Series Rerekended Filter Housing Series
Semiconductor Filter particles mula sa solvent ng SC1
  • PTFE pleated filter cartridge
  • PTFE capsule filter cartridge
  • PES pleated filter cartridge
  • PES capsule filter cartridge
  • Inline pipeline filter bahays
  • Liquid filter bahays