حلول ترشيح العمليات الرطبة شبه الموصلة

واحدة من أكبر التحديات في صناعة تصنيع أشباه الموصلات هي تلوث السطح من رقائق السيليكون. وقد أظهرت الأبحاث أن العيوب الناجمة عن التلوث يمكن أن يؤدي إلى فشل الكهربائية في رقائق ، مع معدل فشل يصل إلى 80%. إذا لم تتم إزالة الملوثات تمامًا أثناء تصنيع رقاقة الويفر ، فقد يؤثر ذلك على إنتاجية الرقائق أو حتى يؤدي إلى تخريد دفعات كاملة. ولذلك ، فإن عمليات تنظيف أشباه الموصلات هي واحدة من أهم الخطوات في تصنيع أشباه الموصلات. تتضمن العمليات الرطبة ، باعتبارها جزءًا مهمًا من عمليات أشباه الموصلات ، النقش والتنظيف على سطح الرقاقة باستخدام مواد كيميائية (أحماض ، قواعد ، مذيبات ، إلخ) والماء فائق النقاء كوسيط سائل.

Wafer in ultra-pure water
عملية تنظيف خزان نموذجية (مع أخذ SC1 كمثال)

منتجات فلتر شركتنا يمكن أن توفر حلول ترشيح ممتازة. لدينا منتجات مرشح مصممة خصيصًا لترشيح السائل في تطبيقات العمليات الرطبة شبه الموصلة مثل SC1 و SC2 و 49HF و HNO3، EKC ، NMP ، إلخ. يمكن لمنتجات المرشحات هذه إزالة الجسيمات بفعالية في المواد الكيميائية عالية النقاء المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات ، مما يضمن إنتاجية رقائق معالجة أشباه الموصلات.

Schematic diagram of cleaning tank process
نقاط التصفية والمنتجات الموصى بها
محطة عمل وظيفة سلسلة خرطوشة فلتر موصى بها سلسلة الإسكان مرشح الموصى بها
ترشيح عملية رطبة شبه موصل جزيئات مرشح من المذيب s1
  • خرطوشة فلتر مطوي PTFE
  • خرطوشة فلتر كبسولة PTFE
  • خرطوشة فلتر PES مطوي
  • خرطوشة فلتر كبسولة PES
  • حاوية مرشح خط أنابيب مضمنة
  • حاوية تصفية السائل