Cmp filtrasyon çözümleri

Kimyasal mekanik planarizasyon (cmp), gofret üretimi için yarı iletken endüstrisinde kullanılan bir parlatma işlemidir. Silikon gofret veya diğer substrat malzemelerini düzleştirmek için kimyasal korozyon ve mekanik kuvvet kullanımını içeren yarı iletken cihazların üretim sürecinde bir teknolojidir. Cmp çözümleri, çok katmanlı yarı iletken devreler oluşturma sürecini geliştirdi. Kimyasal parlatma için kullanılan bulamaç genellikle taşlama sıvısı veya bulamaç olarak adlandırılır. Kimyasal kararsızlık ve işleme adımları nedeniyle, jeller ve aglomeratlar yavaş yavaş bulamaç halinde oluşur ve bu büyük parçacıklar gofret yüzeyine taşınır, gofret yüzeyinde mikro çizikler gibi kusurlara neden olur ve önemli bir gofret verimi kaybı ile sonuçlanır. Bu nedenle, cmp filtration syonu, parlatma performansını etkilemeden büyük partiküllere ve aglomerasyona neden olan kusurları gidermek için çok önemlidir. Ulaşım sistemi aşağıda gösterilmiştir: