إن عملية التسوية الميكانيكية الكيميائية (cmب) هي عملية تلميع تستخدم في صناعة أشباه الموصلات لتصنيع الرقائق. إنها تقنية في عملية تصنيع أجهزة أشباه الموصلات التي تنطوي على استخدام التآكل الكيميائي والقوة الميكانيكية لشد رقائق السيليكون أو مواد الركيزة الأخرى. لقد حسنت حلول cmip عملية إنشاء دوائر أشباه الموصلات متعددة الطبقات. يُشار عادة إلى الملاط المستخدم للتلميع الكيميائي على أنه سائل طحن أو ملاط. بسبب عدم الاستقرار الكيميائي وخطوات المعالجة ، تتشكل المواد الهلامية والتكتلات ببطء في الملاط ، ويتم نقل هذه الجزيئات الكبيرة إلى سطح الويفر ، مما يسبب عيوبًا مثل الخدوش الصغيرة على سطح الويفر ويؤدي إلى خسارة كبيرة في محصول الويفر. لذلك ، يعد ترشيح cmps أمرًا بالغ الأهمية لإزالة العيوب التي تسبب جزيئات كبيرة والتكتل دون التأثير على أداء التلميع. نظام النقل موضح أدناه:
محطة عمل | وظيفة | سلسلة خرطوشة فلتر موصى بها | سلسلة الإسكان مرشح الموصى بها |
---|---|---|---|
1 ترشيح خشن | مرشحات جزيئات أكبر لحماية مرشحات المصب |
|
|
2 ترشيح دقيق | مرشحات الجسيمات الصغيرة |
|
|
3 ترشيح طرفي | إزالة الجسيمات المتبقية لتلبية متطلبات العملية |
|
-- |